[实用新型]一种晶圆清洗回收机

权利要求书

1.一种晶圆清洗回收机，其特征在于：包括清洗回收机（1）和出料机构（4），所述清洗回收机（1）的顶部贯穿有旋转机构（2），所述清洗回收机（1）的外壁两侧均安装有可左右滑动的滑动机构（3），所述滑动机构（3）内电动滑块（303）带动海绵层（304）在第一滑轨（302）上同一水平线滑动，所述滑动机构（3）的下方安装有可上下升降的出料机构（4），所述清洗回收机（1）内壁安装有可拆卸的密封机构（5），所述出料机构（4）的外壁一侧连接有清洗机构（6）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述旋转机构（2）包括伺服电机（201）、旋转轴（202）和清洗棉（203），所述伺服电机（201）安装在清洗回收机（1）的外壁上方，所述旋转轴（202）固定安装在伺服电机（201）的输出端，所述清洗棉（203）套设在旋转轴（202）的外壁。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述滑动机构（3）包括活动块（301）、第一滑轨（302）、电动滑块（303）海绵层（304）和静电吸盘（305），所述活动块（301）安装在清洗回收机（1）的内壁上方，所述第一滑轨（302）开设在活动块（301）的外壁下方表面，所述电动滑块（303）安装在第一滑轨（302）的内部两侧，所述海绵层（304）设置在电动滑块（303）的外壁下方，所述海绵层（304）的内部设置有若干个静电吸盘（305）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述出料机构（4）包括第二滑轨（401）、滑块（402）、托盘（403）、电动升降套杆（404）和储物槽（405），所述第二滑轨（401）开设在清洗回收机（1）内壁下方表面，所述滑块（402）安装在第二滑轨（401）的内部，所述托盘（403）焊接在滑块（402）的两侧，所述电动升降套杆（404）焊接在托盘（403）的外壁下方，所述储物槽（405）内壁下方焊接有电动升降套杆（404）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述滑块（402）在托盘（403）的中心线，滑块（402）配合托盘（403）平衡升降。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述密封机构（5）包括卡槽（501）、卡块（502）和密封圈（503），所述卡槽（501）开设在清洗回收机（1）的内壁，所述卡块（502）安装在卡槽（501）的一侧，所述密封圈（503）焊接在卡块（502）的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗回收机，其特征在于：所述清洗机构（6）包括水泵（601）、水管（602）、分流管（603）和进水口（604），所述水泵（601）连接在储物槽（405）外壁一侧，所述水管（602）连接在水泵（601）的另一端，所述分流管（603）连接在水管（602）的末端，所述进水口（604）的内部焊接有分流管（603）。