[实用新型]一种化学气相渗透法用工装

摘要

本发明公开了一种化学气相渗透法用工装，适用于小尺寸圆筒状制备使用，包括底座及布气盘，所述底座的底面中心位置设有通孔作为进气口；所述布气盘安装在底座的内腔内；所述布气盘上布设有圆筒状预制体和套装在圆筒状预制体外侧的外限导流筒，所述外限导流筒与预制件外壁面之间均设有宽度为5‑10mm的狭缝，所述布气盘对应圆筒状预制体的中空结构位置设有气体通道，所述布气盘对应狭缝位置均设有若干个气体通道，前驱体气体经底座、布气盘将前驱体气流仅限制在预制体圆筒内侧和外侧，气体不会进入高温炉体内其他区域，提高前驱体气体利用率，节约原材料，且提高化学气相渗透效率，可满足多个预制体同时沉积使用，实现工业设备沉积空间最大利用率。