[实用新型]一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置有效
| 申请号： | 202121646333.3 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN215161779U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 亓信中;秦正健 | 申请（专利权）人： | 江苏联芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/06 | 分类号： | C02F9/06 |
| 代理公司： | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人： | 蒋玉娇 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市张家港市杨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出端固定连接有传动轴，传动轴的表面固定连接有搅拌杆，传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，第一齿轮的表面啮合有传动机构，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 半导体 cmp 废水 高效 回收 装置 | ||
【主权项】：
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