[实用新型]一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置

权利要求书

1.一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面的一侧固定连接有过滤箱(2)，所述底座(1)上表面的中部固定连接有电解箱(3)，所述底座(1)上表面的另一侧固定连接有净化箱(4)，所述电解箱(3)上表面的一侧设置有电机(5)，所述电机(5)的输出端固定连接有传动轴(6)，所述传动轴(6)的表面固定连接有搅拌杆(7)，所述传动轴(6)的表面靠近电机(5)的一端固定连接有第一齿轮(8)，所述第一齿轮(8)的表面啮合有传动机构(9)，所述传动机构(9)的输出端啮合有第二齿轮(10)，所述第二齿轮(10)的中部固定连接有支撑轴(11)，所述支撑轴(11)的表面固定连接有两组搅拌叶(12)，所述过滤箱(2)内侧壁的底部固定连接有过滤网(13)，所述净化箱(4)的内侧壁搭接有活性炭吸附层(14)。

2.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述过滤箱(2)的背面固定连接有排放窗(15)，所述排放窗(15)的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗(15)的正面开设有与过滤箱(2)相连通的排放口。

3.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述传动机构(9)包括传动杆(901)，所述传动杆(901)的两端均固定连接有第三齿轮(902)。

4.根据权利要求3所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述第三齿轮(902)与第一齿轮(8)和第二齿轮(10)相适配，所述传动杆(901)通过防水轴承固定安装在过滤箱(2)的正面。

5.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述过滤箱(2)的一侧固定设置有水泵(16)，所述水泵(16)的输入端与过滤箱(2)相连通，所述水泵(16)的输出端连通设置有分流管。

6.根据权利要求5所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱(3)相连通，另一个支管与净化箱(4)相连通，所述支管的表面设置有第一电磁阀。

7.根据权利要求6所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述净化箱(4)和电解箱(3)表面的底部均固定连接有排放管(17)，所述排放管(17)的表面设置有第二电磁阀。

8.根据权利要求1所述的一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，其特征在于：所述搅拌叶(12)的数量为若干个，若干个所述搅拌叶(12)呈环形阵列在所述支撑轴(11)的表面。