[实用新型]一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置

说明书

本实用新型公开了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，涉及废水处理技术领域，包括底座，底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，底座上表面的中部固定连接有电解箱，底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，电解箱上表面的一侧设置有电机，电机的输出端固定连接有传动轴，传动轴的表面固定连接有搅拌杆，传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，第一齿轮的表面啮合有传动机构，该微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，通过过滤箱、电解箱、净化箱的设置，废水进入过滤箱内进行初次过滤，沉淀后的废水可以通过水泵引入电解箱进行电解，从而降低废水中有害物的含量，同时可以引入净化箱，经过活性炭吸附，去除废水中的异味。

技术领域

本实用新型涉及废水处理技术领域，具体为一种微电子半导体厂用CMP 废水高效回收装置。

背景技术

半导体工业是一个十分依赖水资源的行业，也是高耗水的行业，尤其在水资源有限的情形下，限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力，因此，对半导体生产企业节约用水的研究与实践，有助于提升用水效益，降低用水成本，目前，节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施，特别是废水的回收利用，既能减少对水资源的需求，又能降低生产成本，同时也减少对环境的污染。

现有的对CMP废水的回收设备在使用过程中对废水的过滤效果不佳，且过滤后不方便对滤网进行清洗，同时不便于对污水处理箱内部的异味进行吸收净化处理。

实用新型内容

解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括底座，所述底座上表面的一侧固定连接有过滤箱，所述底座上表面的中部固定连接有电解箱，所述底座上表面的另一侧固定连接有净化箱，所述电解箱上表面的一侧设置有电机，所述电机的输出端固定连接有传动轴，所述传动轴的表面固定连接有搅拌杆，所述传动轴的表面靠近电机的一端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面啮合有传动机构，所述传动机构的输出端啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的中部固定连接有支撑轴，所述支撑轴的表面固定连接有两组搅拌叶，所述过滤箱内侧壁的底部固定连接有过滤网，所述净化箱的内侧壁搭接有活性炭吸附层。

可选的，所述过滤箱的背面固定连接有排放窗，所述排放窗的内侧壁插接有密封板，所述密封板的侧面设置有橡胶密封圈，所述排放窗的正面开设有与过滤箱相连通的排放口，从而方便人员清理过滤在过滤网上方的杂质，同时便于密封排放窗。

可选的，所述传动机构包括传动杆，所述传动杆的两端均固定连接有第三齿轮，从而方便与传动第一齿轮和第二齿轮。

可选的，所述第三齿轮与第一齿轮和第二齿轮相适配，所述传动杆通过防水轴承固定安装在过滤箱的正面，从而通过第一齿轮带动传动机构工作。

可选的，所述过滤箱的一侧固定设置有水泵，所述水泵的输入端与过滤箱相连通，所述水泵的输出端连通设置有分流管，通过水泵将水输送到净化箱和电解箱内。

可选的，所述分流管的表面连通设置有两个支管，其中一个支管与电解箱相连通，另一个支管与净化箱相连通，所述支管的表面设置有第一电磁阀，从而方便控制支管。

可选的，所述净化箱和电解箱表面的底部均固定连接有排放管，所述排放管的表面设置有第二电磁阀，从而方便排放净化过的废水。

可选的，所述搅拌叶的数量为若干个，若干个所述搅拌叶呈环形阵列在所述支撑轴的表面，从而方便废水在过滤箱内过滤沉淀。

有益效果

本实用新型提供了一种微电子半导体厂用CMP废水高效回收装置，具备以下有益效果：