[实用新型]基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构有效
| 申请号： | 202121593604.3 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN214951694U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 范茂军;黄富年;曹小军 | 申请（专利权）人： | 深圳市信为科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01G3/14 | 分类号： | G01G3/14;G01G23/00 |
| 代理公司： | 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) 44449 | 代理人： | 易涵冰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，包括形变部、承载部和MEMS传感器，形变部与承载部之间扣合形成有用于充满液体的密封腔，形变部远离承载部的表面部分向外凸出形成受力部，当受力部承载压力，形变部向承载部一侧靠近并挤压密封腔的内部空间；形变部密封腔包括感应通孔，MEMS传感器包括MEMS芯体，MEMS传感器安装并密封感应通孔，MEMS芯体与密封腔连通并检测液体液压变化；密封腔内充满液体，受力部使得发生形变过程挤压密封腔内的液体导致液压的变化，配合压力传感器感应液压的变化得到总重量的数据；这种测量方式取代现有的测量方式，真正做到防蠕变，并且结合在形变部设置的双向的防过载结构，有效的防止测量过载导致传感器失灵。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 质量 传感器 防蠕变 结构 | ||
【主权项】：
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