[实用新型]基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构

权利要求书

1.一种基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，包括形变部、承载部和MEMS传感器，形变部与承载部之间扣合形成有用于充满液体的密封腔，形变部远离承载部的表面部分向外凸出形成受力部，当受力部承载压力，形变部向承载部一侧靠近并挤压密封腔的内部空间；形变部密封腔包括感应通孔，MEMS传感器包括MEMS芯体，MEMS传感器安装并密封感应通孔，MEMS芯体与密封腔连通并检测液体液压变化。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，MEMS芯体包括上次芯体和下层芯体，上层芯体与下层芯体的连接面为侧边凸起的凹形连接面，下层芯体与上层芯体的连接面为平面连接面，上层芯体与下层芯体通过凹形连接面与平面连接面固定连接，形成具有真空内腔的MEMS芯体结构。

3.根据权利要求2所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，上层芯体的凹形连接面中间部分设有向平面连接面凸出的凸块，凸块的凸起高度小于侧边凸起的凸起高度。

4.根据权利要求2或3所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，上层芯体的凹形连接面与下层芯体的平面连接面之间采用真空键合的方式固定连接。

5.根据权利要求1所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，密封腔与感应通孔的连接位置设有感应腔，当MEMS传感器安装与感应通孔内时，MEMS芯体位于感应腔内。

6.根据权利要求1所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，形变部包括形变板、及包裹形变板侧壁的抵接边框；承载部包括与抵接边框紧密结合的承载边框，以及与形变板对应设置的承载板，承载板与形变板间隙设置以形成密封腔；MEMS传感器贯穿抵接边框和/或承载边框与密封腔连通；其中，受力部位于形变板的中心位置。

7.根据权利要求6所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，形变板靠近承载板的表面部分向密封腔内突出形成凸台，凸台与承载板的间距小于形变板与承载板的间距。

8.根据权利要求6所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，形变板的厚度自抵接边框向受力部逐渐减小/增大。

9.根据权利要求1所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，受力部远离变形板一侧的表面为凸起的弧面。

10.根据权利要求1所述的基于MEMS芯体的质量传感器的防蠕变结构，其特征在于，受力部远离变形板一侧的表面为向内凹陷的弧面，弧面的内部设有一圆球。