[实用新型]一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构

摘要

本实用新型公开一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括晶圆上吸盘、加热板、连接板、第一销孔、螺纹孔、中空调平螺丝、第二销孔、连接螺丝、调平螺母，所述晶圆上吸盘安装在加热板的底面，所述加热板叠放于连接板的下方，所述连接板边角开设有中心对称且矩阵分布的四个第一销孔，所述加热板边角开设有四个与第一销孔同轴的螺纹孔，每个所述第一销孔内插接有一枚带调平螺母的中空调平螺丝。通过上述方式，本实用新型提供一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，在连接板的边角加装相互叠套的中空调平螺丝、调平螺母和连接螺丝，解决了加热板受力变形问题，具有操作简单高效、寿命长等优点。