[实用新型]一种硅片翻转缓存机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片翻转缓存机构,包括升降装置、翻转装置和缓存装置，缓存装置用于缓存硅片，升降装置控制缓存装置升降，翻转装置控制缓存装置翻转，本实用新型通过DD马达将缓存装置进行翻转，使硅片处于近似竖直状态，在硅片处于近似竖直状态下取片，减少对硅片的划伤以及碎片，保证设备的合格率，本实用新型设计硅片调整组件对缓存槽内的硅片进行调整，将硅片的左右位置调整一致，提高取片的效率。