[实用新型]一种硅片翻转缓存机构有效
申请号: | 202121576313.3 | 申请日: | 2021-07-12 |
公开(公告)号: | CN215869430U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 林佳继;周欢;时祥;刘世玉 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 翻转 缓存 机构 | ||
本实用新型公开了一种硅片翻转缓存机构,包括升降装置、翻转装置和缓存装置,缓存装置用于缓存硅片,升降装置控制缓存装置升降,翻转装置控制缓存装置翻转,本实用新型通过DD马达将缓存装置进行翻转,使硅片处于近似竖直状态,在硅片处于近似竖直状态下取片,减少对硅片的划伤以及碎片,保证设备的合格率,本实用新型设计硅片调整组件对缓存槽内的硅片进行调整,将硅片的左右位置调整一致,提高取片的效率。
技术领域
本实用新型属于光伏领域,涉及一种硅片翻转缓存机构。
背景技术
花篮是硅片运输过程中的重要工具,随着硅片尺寸越来越大,越做越薄,导致硅片在水平状态下变形量也越来越大,在原有机器人水平取放片的基础上,如果继续使用现有硅片缓存的机构会导致硅片划伤甚至碎片,降低设备的合格率,本实用新型有效地解决了这种问题。
发明内容
本实用新型为了克服现有技术的不足,提供一种硅片翻转缓存机构。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:一种硅片翻转缓存机构,其特征在于:包括升降装置、翻转装置和缓存装置,缓存装置用于缓存硅片,升降装置控制缓存装置升降,翻转装置控制缓存装置翻转。
进一步的;所述升降装置包括升降电机,升降电机安装在升降固定板上,升降电机的输出轴固设有丝杆,丝杆与升降固定板转动连接,丝杆上设置有与升降固定板滑动连接的升降滑块。
进一步的;所述翻转装置包括DD马达,DD马达的固定端安装在升降滑块,DD马达的输出端与缓存装置固设连接。
进一步的;所述缓存装置包括缓存固定板,通过缓存固定板与DD马达的固定连接将缓存装置与翻转装置固定连接,缓存固定板以及DD马达的输出端之间固设有加强板,加强缓存固定板的强度。
进一步的;所述缓存装置包括水平缓存组件和缓存支撑组件,水平缓存组件设置有两组,两组水平缓存组件对称安装在缓存固定板的两侧,水平缓存组件包括连接板,连接板下方固设有安装板,安装板上固设有沿水平方向分布的槽板,若干槽板沿竖直方向依次分布,相邻槽板形成缓存槽,硅片进入缓存槽缓存。
进一步的;所述水平缓存组件上设置有间距调节机构,间距调节机构包括调整块、固定块和调节杆,调整块固设在缓存固定板,固定块固设在连接板,调节杆转动贯穿调整块并与固定块转动连接。
进一步的;所述缓存支撑组件包括托片气缸,托片气缸安装在缓存固定板,托片气缸的输出轴连接有与缓存固定板滑动连接的移动板组件,移动板组件的滑动方向与硅片进入缓存槽的方向一致,移动板组件上固设有两组托齿板,托齿板沿竖直方向分布,托齿板上固设有若干托齿,相邻的托齿形成托齿槽,硅片落入托齿槽内。
进一步的;所述缓存装置还包括硅片调整组件,一组硅片调整组件与一组水平缓存组件对应,硅片调整组件包括整片气缸,整片气缸的输出轴连接有与缓存固定板滑动连接的滑块安装板,滑块安装板的两侧固设有规整安装板,两组规整安装板位于一组水平缓存组件的两侧,规整安装板上固设有规整板,规整板朝向硅片,将缓存槽内的硅片左右位置调整一致。
进一步的;两组所述安装板上的缓存槽位置一一对应,托齿槽与缓存槽位置一一对应。
进一步的;所述翻转装置的翻转角度设置为钝角或锐角。
综上所述,本实用新型的有益之处在于:
1)、本实用新型通过DD马达将缓存装置进行翻转,使硅片处于近似竖直状态,在硅片处于近似竖直状态下取片,减少对硅片的划伤以及碎片,保证设备的合格率。
2)、本实用新型设计有加强板加强缓存固定板的强度以及加强肋加强安装板的强度。
3)、本实用新型设计有间距调节机构,通过间距调节机构调节两组槽板的间距,从而可以缓存不同规格的硅片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的