[实用新型]转换晶周治具

摘要

本实用新型公开了一种转换晶周治具，包括底板、推杆和防动机构，底板设有相邻设置的第一放置区及第二放置区，推杆相对底板水平移动，推杆具有推杆主体，第一放置区与推杆主体邻设，推杆主体的移动带动第一放置区的晶周内的晶圆进入第二放置区的晶周内，防动机构分别位于第一放置区及第二放置区的底板内，防动机构具有抵挡位置及避让位置，当第一放置区或第二放置区没有放置晶周时，防动机构位于抵挡位置；当第一放置区或第二放置区放上晶周时，防动机构位于避让位置。与现有技术相比，本实用新型的转换晶周治具借助防动机构，防止在搬运过程或者打包过程中，推杆的随意移动造成破裂损毁，从而提高本实用新型的转换晶周治具的安全性及使用寿命。