[实用新型]一种晶圆表面质量检测装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆表面质量检测装置，包括检测设备主体，检测设备主体的最下侧位置处设置有底座，底座的上方内侧位置处设置有滑轨，滑轨的上侧位置处设置有平台主体，平台主体的左侧位置处设置有横向移动装置，横向移动装置的左侧位置处设置有移动装置把柄，平台主体的左侧位置处设置有平台把柄，通过平台主体的移动带动晶圆在光学检测镜头下移动，可以检测圆晶表面的粗糙程度，锁紧装置可以在底座的凹槽内进行移动，当锁紧装置贴紧平台主体时，可以将平台主体固定住，便于检测，当需要将晶圆放置在真空吸附台上时，可以先将平台主体从滑轨内移出，将晶圆放置在真空吸附台上时再将其恢复原位，避免晶圆碰触到光学检测镜头受到损坏。