[实用新型]一种晶圆表面质量检测装置

权利要求书

1.一种晶圆表面质量检测装置，包括检测设备主体(1)，其特征在于：所述检测设备主体(1)的最下侧位置处设置有底座(13)，所述底座(13)的上方内侧位置处设置有滑轨(5)，所述滑轨(5)的上侧位置处设置有平台主体(9)，所述平台主体(9)的左侧位置处设置有横向移动装置(10)，所述横向移动装置(10)的左侧位置处设置有移动装置把柄(11)，所述平台主体(9)的左侧位置处设置有平台把柄(14)，所述平台主体(9)的右侧位置处设置有旋钮(8)，所述横向移动装置(10)的上侧位置处设置有放置平台(3)，所述放置平台(3)的上侧位置处设置有真空吸附台(12)，所述真空吸附台(12)的上侧位置处设置有晶圆(4)，所述晶圆(4)的上侧位置处设置有光学检测镜头(2)，所述底座(13)的内侧位置处设置有锁紧装置(6)，所述锁紧装置(6)的左侧末端位置处设置有把柄(7)，所述锁紧装置(6)和底座(13)的连接位置处设置有凹槽(15)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面质量检测装置，其特征在于：所述锁紧装置(6)通过凹槽(15)在底座(13)上进行移动，且锁紧装置(6)在移动到平台主体(9)表面时，能将平台主体(9)固定住。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆表面质量检测装置，其特征在于：所述平台主体(9)通过嵌入连接方式和滑轨(5)连接，且平台主体(9)能通过滑轨(5)在底座(13)上进行移动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆表面质量检测装置，其特征在于：所述放置平台(3)能通过横向移动装置(10)进行横向移动，所述横向移动装置(10)通过螺栓连接方式和放置平台(3)连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆表面质量检测装置，其特征在于：所述把柄(7)通过螺栓连接方式和锁紧装置(6)进行连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆表面质量检测装置，其特征在于：所述光学检测镜头(2)共设置有两个，且两个光学检测镜头(2)分别设置在晶圆(4)的上侧位置处，所述晶圆(4)通过真空吸附方式和真空吸附台(12)连接。