[实用新型]一种用于长晶的坩埚组件及长晶炉有效
| 申请号： | 202120940037.8 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN214992012U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏飞;刘星;刘家朋;李加林 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 冯妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于长晶的坩埚组件，属于半导体材料制备领域。该用于长晶的坩埚组件，包括：反应腔，所述反应腔用于装载原料；长晶腔，所述长晶腔可拆卸的连接在所述反应腔上方，并与所述反应腔通过气相传输通道连通，所述气相传输通道内设置多孔隔板，所述反应腔内的原料升华产生的原料气通过所述气相传输通道的多孔隔板传输至所述长晶腔内长晶。该坩埚组件的气相传输通道内设置多孔隔板，能够阻挡气相组分中的细微颗粒参与长晶，并改变细微颗粒的传输方向，延长传输路径，使其进一步受热升华，提高碳化硅晶体的晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 坩埚 组件 长晶炉 | ||
【主权项】：
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