[实用新型]一种用于长晶的坩埚组件及长晶炉

权利要求书

1.一种用于长晶的坩埚组件，其特征在于，包括：

反应腔，所述反应腔用于装载原料；

长晶腔，所述长晶腔可拆卸的连接在所述反应腔上方，并与所述反应腔通过气相传输通道连通，所述气相传输通道内设置多孔隔板，所述反应腔内的原料升华产生的原料气通过所述气相传输通道的多孔隔板传输至所述长晶腔内长晶。

2.根据权利要求1所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述反应腔和所述长晶腔为圆筒形，所述长晶腔的直径与所述反应腔的直径的比值为1.1-1.8：1。

3.根据权利要求2所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述长晶腔和所述反应腔共中心轴线设置，所述反应腔和所述长晶腔通过螺纹或卡扣连接，且所述反应腔和所述长晶腔的连接处设置有密封件。

4.根据权利要求1所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述多孔隔板与所述原料气的传输方向垂直；

所述反应腔的顶部开设有凹槽，所述多孔隔板通过所述凹槽设置于所述反应腔的顶部。

5.根据权利要求4所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述多孔隔板与所述反应腔为圆筒形，所述凹槽为L形，所述多孔隔板的下端面与所述凹槽的上端面相抵接，所述多孔隔板外侧面与所述凹槽的内侧壁相抵靠，以使得所述多孔隔板卡合在所述凹槽内。

6.根据权利要求5所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述多孔隔板的高度为5-20mm，且所述多孔隔板的高度大于所述凹槽的高度；和/或

所述多孔隔板与所述反应腔底部的距离和所述多孔隔板与所述长晶腔顶部的距离的比值为20-45：10-15。

7.根据权利要求4所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述长晶腔底部的内侧壁上设置有凸起，所述长晶腔与所述反应腔扣合，所述凸起用于将所述多孔隔板限制在所述反应腔的顶部。

8.根据权利要求7所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述凸起包括第一凸起和第二凸起，所述第一凸起的下端面与所述多孔隔板的上端面抵接，所述第二凸起的侧面与所述多孔隔板的外侧面相抵靠。

9.根据权利要求1-8任一项所述的用于长晶的坩埚组件，其特征在于，所述多孔隔板为多孔石墨板，所述反应腔和所述长晶腔为高纯石墨材料。

10.一种长晶炉，其特征在于，其包括炉体、加热机构和权利要求1-9任一项所述的用于长晶的坩埚组件；

所述坩埚组件设置在所述炉体内，所述加热机构设置在炉体外，用于对所述炉体内的坩埚组件加热。