[实用新型]一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备

摘要

一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备，包括插头和插头座；其中，插头座面向插头的一面设置有多个插孔，插头座背离插头的一面设置有缓冲结构；插头面向插头座的一面设置有多个与插孔一一对应的插针；缓冲结构用于在插针插接或拔出于插孔的过程中，缓冲插头与插头座之间的冲击力。本实用新型涉及的用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构，通过缓冲结构在插针插接或拔出插孔过程中，缓冲插头与插头座之间的冲击力，避免插头与插头座未对准时插头受压被顶至变形的情况，延长使用寿命，降低设备故障率，提高设备稳定性，从而提高设备产能。