[实用新型]一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备

说明书

一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备，包括插头和插头座；其中，插头座面向插头的一面设置有多个插孔，插头座背离插头的一面设置有缓冲结构；插头面向插头座的一面设置有多个与插孔一一对应的插针；缓冲结构用于在插针插接或拔出于插孔的过程中，缓冲插头与插头座之间的冲击力。本实用新型涉及的用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构，通过缓冲结构在插针插接或拔出插孔过程中，缓冲插头与插头座之间的冲击力，避免插头与插头座未对准时插头受压被顶至变形的情况，延长使用寿命，降低设备故障率，提高设备稳定性，从而提高设备产能。

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备。

背景技术

目前的管式PECVD电极插拔结构插头端与插座端为硬接触，如图1a所示，插头端91设于推舟93的一端的滑台上，插座端92固定于推舟93的另一端，且与射频电源相连接，如图1b所示，插头端91随滑台向插座端92靠近，导向柱94插入定位孔，插头端91与插座端92实现电极对接，从而实现放电功能。而如遇插头端91与插座端92未对准的情况，容易造成插头端91的插头被顶至变形，同时无法判断插头和插座孔是否有效接触和压紧，且经过长时间工作后易造成插头和插座插头孔磨损，另外插头拔出时同样易造成插头变形，影响设备稳定性和产能。

因此，需要设计一种新型电极插拔结构，能够保证插头与插座有效接触和压紧，同时减少插头变形的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构及设备，能够保证插头与插座有效接触和压紧，同时减少插头变形的情况。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种用于半导体工艺设备的缓冲式电极插拔结构，包括插头和插头座；其中，

所述插头座面向所述插头的一面设置有多个插孔，所述插头座背离所述插头的一面设置有缓冲结构；所述插头面向所述插头座的一面设置有多个与所述插孔一一对应的插针；

所述缓冲结构用于在所述插针插接或拔出于所述插孔的过程中，缓冲所述插头与所述插头座之间的冲击力。

优选地，所述插头座包括插座块、导轨和滑块；其中，

所述导轨平行于所述插头的插接方向设置，所述插座块垂直于所述插接方向的一端连接有所述滑块，所述插座块通过所述滑块滑动连接于所述导轨。

优选地，所述插座块的所述侧面设有电极孔和定位孔，所述插头包括插头块和连接板；

所述插头块面向所述插头座一侧设有所述插针和插头导向轴，所述插头导向轴的长度大于所述插针的长度；

所述插座块面向所述插头的一面设有所述插孔和定位孔，所述插头导向轴和所述插针分别与所述定位孔和所述插孔的位置相对应；

所述连接板用于将所述插头块固定于所述半导体工艺设备上。

优选地，所述缓冲结构包括：顶板、靠板、至少一个拔出缓冲组件和至少一个插接缓冲组件；其中，

所述顶板设置于所述插头座背离所述插头的一面，所述靠板设置于所述顶板背离所述插头座的一面；

所述拔出缓冲组件设于所述靠板内，且贯穿所述顶板与所述插头座背离所述插头的一面连接；

所述插接缓冲组件设于所述顶板内，且在所述插针与所述插孔插接过程中接触所述插头座背离所述插头的一面。

优选地，所述靠板朝向所述顶板的一侧设有至少一个安装槽，所述拔出缓冲组件设于所述安装槽内，当所述插针拔出所述插孔时，所述拔出缓冲组件向所述插头座提供弹性拉力。