[实用新型]一种电容式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202120864713.8 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN215529301U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵转转;柏杨;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广东普罗米修律师事务所 44615 | 代理人： | 齐则琳;黄利平 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型用于声电转换装置技术领域，尤其涉及一种电容式MEMS麦克风。该电容式MEMS麦克风包括具有背腔的基底、设于所述基底之上的振膜和与所述振膜相对设置且贯穿有多个声孔的背板，所述振膜和所述背板围设形成有空气腔，所述背板和/或振膜上设有至少一泄气孔，所述背板和所述振膜之间连接有与所述泄气孔相对应且用于在所述振膜振动时随所述振膜的振动而改变所述泄气孔的泄气通道大小的至少一调节结构，所述调节结构沿所述背板的厚度方向设置，且所述调节结构与所述泄气孔为相对设置。本实用新型提供的该电容式MEMS麦克风，其调节结构能增强泄气孔的泄气能力，减小振膜与背板的负载，降低振膜和背板的断裂、破损几率，以实现提高麦克风可靠性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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