[实用新型]一种电容式MEMS麦克风

说明书

本实用新型用于声电转换装置技术领域，尤其涉及一种电容式MEMS麦克风。该电容式MEMS麦克风包括具有背腔的基底、设于所述基底之上的振膜和与所述振膜相对设置且贯穿有多个声孔的背板，所述振膜和所述背板围设形成有空气腔，所述背板和/或振膜上设有至少一泄气孔，所述背板和所述振膜之间连接有与所述泄气孔相对应且用于在所述振膜振动时随所述振膜的振动而改变所述泄气孔的泄气通道大小的至少一调节结构，所述调节结构沿所述背板的厚度方向设置，且所述调节结构与所述泄气孔为相对设置。本实用新型提供的该电容式MEMS麦克风，其调节结构能增强泄气孔的泄气能力，减小振膜与背板的负载，降低振膜和背板的断裂、破损几率，以实现提高麦克风可靠性的目的。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换技术领域，尤其涉及一种电容式MEMS麦克风。

【背景技术】

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，简称MEMS麦克风)。当声压作用于振膜时，气体首先会通过振膜狭缝到达振膜与背板间的空气腔，再通过背板上的泄气孔到达后腔。但现市面上的电容式MEMS麦克风的背板上的泄气孔尺寸较小，很难泄气，振膜上的负载取决于作用的声压，若声压足够大，振膜和背板贴合在一起运动，使得振膜与背板上的应力增大，从而引起振膜、背板破裂，麦克风可靠性降低。

因此，有必要提供一种产品能解决上述的技术问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种电容式MEMS麦克风，旨在解决现有技术的电容式MEMS麦克风在受到足够大的声压时，振膜、背板易破裂，导致麦克风可靠性降低的技术问题。

本实用新型的技术方案如下：

该电容式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设于所述基底之上的振膜和与所述振膜相对设置且贯穿有多个声孔的背板，所述振膜和所述背板围设形成有空气腔，所述背板和/或振膜上设有至少一泄气孔，所述背板和所述振膜之间连接有与所述泄气孔相对应且用于在所述振膜振动时随所述振膜的振动而改变所述泄气孔的泄气通道大小的至少一调节结构，所述调节结构沿所述背板的厚度方向设置，且所述调节结构与所述泄气孔为相对设置。

可选地，所述调节结构包括悬臂梁和与所述悬臂梁一端连接的挡板，所述挡板的直径小于所述泄气孔的直径，所述泄气通道为所述挡板的边缘与所述泄气孔的内壁之间所形成的间隙。

可选地，所述调节结构为轴对称结构，且所述调节结构的中轴线与所述泄气孔的中轴线重合。

可选地，所述挡板与所述背板或所述振膜水平设置。

可选地，所述泄气孔设于所述背板上，所述悬臂梁的另一端与所述振膜固定连接。

可选地，所述泄气孔设置有一个，且设于所述背板或所述振膜的中心位置。

可选地，所述泄气孔设于所述振膜上，所述悬臂梁的另一端与所述背板固定连接。

可选地，所述泄气孔设有两个，两个所述泄气孔关于所述振膜的中轴线对称设置。

可选地，所述振膜上设有至少一狭缝。

可选地，所述狭缝设有两个，两所述狭缝关于所述振膜的中轴线对称设置。

可选地，所述振膜与基底之间设有支撑体。

本实用新型的有益效果在于：