[实用新型]一种电容式MEMS麦克风

权利要求书

1.一种电容式MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设于所述基底之上的振膜和与所述振膜相对设置且贯穿有多个声孔的背板，所述振膜和所述背板围设形成有空气腔，其特征在于，所述背板和/或振膜上设有至少一泄气孔，所述背板和所述振膜之间连接有与所述泄气孔相对应且用于在所述振膜振动时随所述振膜的振动而改变所述泄气孔的泄气通道大小的至少一调节结构，所述调节结构沿所述背板的厚度方向设置，且所述调节结构与所述泄气孔为相对设置。

2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述调节结构包括悬臂梁和与所述悬臂梁一端连接的挡板，所述挡板的直径小于所述泄气孔的直径，所述泄气通道为所述挡板的边缘与所述泄气孔的内壁之间所形成的间隙。

3.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述调节结构为轴对称结构，且所述调节结构的中轴线与所述泄气孔的中轴线重合。

4.根据权利要求2所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述挡板与所述背板或所述振膜水平设置。

5.根据权利要求2所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述泄气孔设于所述背板上，所述悬臂梁的另一端与所述振膜固定连接。

6.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述泄气孔设置有一个，且设于所述背板或所述振膜的中心位置。

7.根据权利要求2所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述泄气孔设于所述振膜上，所述悬臂梁的另一端与所述背板固定连接。

8.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述泄气孔设有两个，两个所述泄气孔关于所述振膜的中轴线对称设置。

9.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜上设有至少一狭缝。

10.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜与基底之间设有支撑体。