[实用新型]N-TOPCon太阳能电池中制备双面氧化硅的设备

摘要

本实用新型涉及一种N‑TOPCon太阳能电池中制备双面氧化硅的设备，包括填充有工艺气体的氧化硅工艺腔，该氧化硅工艺腔中的载板的上方安装有第一离子源，所述第一离子源用于在载板上的N型硅的正面产生氧离子，产生的氧离子和硅片正表面进行反应形成氧化硅；氧化硅工艺腔中的下方安装有第二离子源，所述第二离子源用于在第一离子源工作时同步在N型硅的背面产生氧离子。本实用新型在保证洁净度的同时，减少工序，解决N‑TOPCon工序多的问题，增强N‑TOPCon的核心竞争力。