[实用新型]一种自动开盖式金属晶圆盒

摘要

本实用新型公开了一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子、盖框，盖子盖设与盖框上，盖框的下端设有对称布置的第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板靠近盖框端连接有对称布置的侧板，第一支撑板和第二支撑板远离盖框端连接有对称布置的加强筋和连接板，加强筋设置于连接板的内侧，侧板的内侧连接有定位卡槽板。本实用新型的有益效果是：通过盖子上设置定位孔，可实现自动开盖，通过定位垫块、挡板可与设备精确定位，通过盖设盖子和提取把手，可随意移动晶圆盒，且晶圆固定稳固，不会出现晃动；整个晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接烤箱烘烤；结构简单，便于拆装，使用方便，去人工化，减少破片风险，提高晶圆的安全性及品质。