[实用新型]一种自动开盖式金属晶圆盒

说明书

本实用新型公开了一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子、盖框，盖子盖设与盖框上，盖框的下端设有对称布置的第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板靠近盖框端连接有对称布置的侧板，第一支撑板和第二支撑板远离盖框端连接有对称布置的加强筋和连接板，加强筋设置于连接板的内侧，侧板的内侧连接有定位卡槽板。本实用新型的有益效果是：通过盖子上设置定位孔，可实现自动开盖，通过定位垫块、挡板可与设备精确定位，通过盖设盖子和提取把手，可随意移动晶圆盒，且晶圆固定稳固，不会出现晃动；整个晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接烤箱烘烤；结构简单，便于拆装，使用方便，去人工化，减少破片风险，提高晶圆的安全性及品质。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种自动开盖式金属晶圆盒。

背景技术

金属晶圆盒用于承载晶圆，进入烤箱进行高温烘烤的设备，并可以在生产设备上与塑料晶圆盒上的晶圆自行转换，主要应用于半导体、电子、LED等行业。

目前企业在将晶圆放入烤箱烘烤时，其作业方式为：一是手动取放，作业人员从塑料的晶圆盒里，手动取出晶圆并放入到金属晶圆盒里，然后再讲金属晶圆盒放进烤箱里进行烘烤，但由于人工手动取放晶圆，如果操作不当，容易导致晶圆在取放时触碰到晶圆盒的周边而使其破片，存在风险；二是晶圆转换，由于现有的金属晶圆盒都没有盖子，在晶圆转换过程中以及人工搬运过程中，容易撒料或碰撞，从而导致晶圆破片或品质异常，造成极大损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动开盖式金属晶圆盒，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子、盖框，所述盖子盖设与盖框上，所述盖框的下端设有对称布置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和第二支撑板靠近盖框端连接有对称布置的侧板，所述第一支撑板和第二支撑板远离盖框端连接有对称布置的加强筋和连接板，所述加强筋设置于连接板的内侧，所述侧板的内侧连接有定位卡槽板。

进一步优选，所述侧板的外侧设有把手。

进一步优选，所述第二支撑板上设有三个定位垫块，三个所述定位垫块呈三角形结构排列。

进一步优选，所述第二支撑板的中间位置设有设备连接块。

进一步优选，所述第二支撑板的侧边设有挡板。

进一步优选，所述加强筋上设有与定位卡槽板相对应的卡槽位。

进一步优选，所述盖子的上表面设有定位孔，所述盖子的下表面设有卡槽及压条。

进一步优选，所述盖框的侧边设有与盖子相配合的卡扣位。

有益效果

本实用新型的自动开盖式金属晶圆盒，通过盖子上设置定位孔，可实现自动开盖，通过定位垫块、挡板可与设备精确定位，通过盖设盖子和提取把手，可随意移动晶圆盒，且晶圆固定稳固，不会出现晃动；整个晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接烤箱烘烤；结构简单，便于拆装，使用方便，去人工化，减少破片风险，提高晶圆的安全性及品质。

附图说明

图1为本实用新型实施例所公开的一种自动开盖式金属晶圆盒的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的金属晶圆盒无盖子的结构示意图。

附图标记

1-盖子，2-盖框，3-侧板，4-把手，5-第一支撑板，6-加强筋，7-连接板，8-第二支撑板，9-定位垫块，10-挡板，11-定位卡槽板，12-设备连接块。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

实施例