[实用新型]一种自动开盖式金属晶圆盒有效

专利信息
申请号: 202120205176.6 申请日: 2021-01-25
公开(公告)号: CN213845242U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 荣国青;门蒙;张健星 申请(专利权)人: 苏州辉垦电子科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 代理人: 王利斌
地址: 215134 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 开盖式 金属 晶圆盒
【权利要求书】:

1.一种自动开盖式金属晶圆盒,包括盖子(1)、盖框(2),所述盖子(1)盖设与盖框(2)上,其特征在于:所述盖框(2)的下端设有对称布置的第一支撑板(5)和第二支撑板(8),所述第一支撑板(5)和第二支撑板(8)靠近盖框(2)端连接有对称布置的侧板(3),所述第一支撑板(5)和第二支撑板(8)远离盖框(2)端连接有对称布置的加强筋(6)和连接板(7),所述加强筋(6)设置于连接板(7)的内侧,所述侧板(3)的内侧连接有定位卡槽板(11)。

2.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述侧板(3)的外侧设有把手(4)。

3.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述第二支撑板(8)上设有三个定位垫块(9),三个所述定位垫块(9)呈三角形结构排列。

4.根据权利要求3所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述第二支撑板(8)的中间位置设有设备连接块(12)。

5.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述第二支撑板(8)的侧边设有挡板(10)。

6.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述加强筋(6)上设有与定位卡槽板(11)相对应的卡槽位。

7.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述盖子(1)的上表面设有定位孔,所述盖子(1)的下表面设有卡槽及压条。

8.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒,其特征在于:所述盖框(2)的侧边设有与盖子(1)相配合的卡扣位。

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