[实用新型]一种竖直放置晶片上下料机械手有效
| 申请号： | 202120196625.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN214981055U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;沈文杰;谢龙辉;谢永旭;倪少博;张帅;陈道光;吕佳鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/12 | 分类号： | B25J9/12;B25J9/14;B25J9/04;B25J15/02;B25J15/00;B25J19/02 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶片加工设备领域，具体涉及一种竖直放置晶片上下料机械手。结构为：X轴模组安装座和导轨安装块平行安装在机架上，X轴直线模组的滑块和导轨滑块分别与Y轴模组安装座的两端相连；Y轴模组安装座上安装有Y轴直线模组，模组的滑块上固定有滚珠丝杆花键，晶片抓取组件设于滚珠丝杆花键底端，包括沿竖向安装上夹持板和下夹持板，在上、下夹持板相对运动时，抓取定位导轮能对夹紧晶片外沿进行夹紧或松开。本实用新型可以将竖直放置在片盒中的晶片从晶片中取出，通过翻转将晶片竖直放置到定位组件上，也可以将清洗部上竖直放置的晶片抓取后，通过翻转将晶片竖直放回到片盒中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 竖直 放置 晶片 上下 机械手 | ||
【主权项】：
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