[实用新型]一种竖直放置晶片上下料机械手

权利要求书

1.一种竖直放置晶片上下料机械手，其特征在于，包括X轴模组安装座、Y轴模组安装座、导轨滑块和晶片抓取组件；所述X轴模组安装座和导轨安装块平行安装在机架上，X轴模组安装座和导轨安装块上分别安装有X轴直线模组和导轨滑块，X轴直线模组的滑块和导轨滑块分别与Y轴模组安装座的两端相连；Y轴模组安装座上安装有Y轴直线模组，模组的滑块上固定有滚珠丝杆花键安装座，滚珠丝杆花键的花键螺母和减速机安装在滚珠丝杆花键安装座上，花键螺母上安装有从动齿轮，从动齿轮和主动齿轮啮合传动，主动齿轮与减速机和伺服电机相连；

所述晶片抓取组件包括抓取组件连接块，抓取组件连接块安装在滚珠丝杆花键的丝杆下端，旋转气缸安装板固定在抓取组件安装块上，抓取组件安装块上安装有旋转气缸，旋转臂安装在旋转气缸的转轴上，平行开闭气爪安装在旋转臂上；平行开闭气爪的开合手指上安装有两个气爪滑块，两个气爪滑块上分别沿竖向安装上夹持板和下夹持板，上、下夹持板长度不同且能在平行开闭气爪的驱动下沿竖直方向相对运动；上、下夹持板上端面端部各安装有两个抓取定位导轮，四个定位导轮位于同一竖直平面，在上、下夹持板相对运动时，抓取定位导轮能对夹紧晶片外沿进行夹紧或松开。

2.根据权利要求1所述的一种竖直放置晶片上下料机械手，其特征在于，风琴护罩一端安装在滚珠丝杆花键安装座下端面，另一端通过卡箍固定在滚珠丝杆花键的丝杆上。

3.根据权利要求1所述的一种竖直放置晶片上下料机械手，其特征在于，下夹持板上安装有能检测晶片是否到位的光纤传感器。

4.根据权利要求1所述的一种竖直放置晶片上下料机械手，其特征在于，上夹持板和下夹持板通过螺栓设于调整气爪滑块上，能通过调节螺栓来控制上夹持板和下夹持板闭合时的夹紧力。

5.根据权利要求1所述的一种竖直放置晶片上下料机械手，其特征在于，所述抓取定位导轮上设计有V型槽口，在抓取定位导轮夹紧晶片时，晶片边缘卡进V型槽口，防止晶片掉落。