[实用新型]一种化学气相沉积-高温处理一体化高温炉

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积‑高温处理一体化炉，炉盖上配合有炉体，炉体内部安装有加热保温系统，加热保温系统远离炉盖的一端连接有出料盘；体的一侧壁安装有测温装置；该测温装置穿过炉体、加热保温系统进入炉体中心；炉体的另一侧壁安装有电极；出料盘的底部连接有进气系统，该进气系统用以给炉体内部充入气体并与工作件发生反应。对完成沉积过程的材料进行需要高温处理时，由于炉体内部设置有加热及保温系统，通过电极对加热及保温系统的中频感应线圈进行加热，将炉体内部温度升高到1800℃以上进行高温处理，完成材料制备的全过程。将沉积炉与高温炉整合到一台设备节约了工作程序，降低设备运行成本、人力成本、时间成本等。