[实用新型]一种石英销及单晶硅生长装置有效
| 申请号： | 202120160695.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214361839U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 温雅楠 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20;G01F23/292 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种石英销，所述石英销包括杆身，所述杆身沿轴向分为第一部分和第二部分，所述第一部分沿轴向的长度小于所述第二部分沿轴向的长度，且所述第一部分与所述第二部分的轴向不平行，所述第二部分的自由端膨大形成投影部，所述投影部的背离所述第二部分的表面为弧面。所述第一部分用于将石英销固定于反射器的底端，所述投影部会在硅熔体的液面形成有投影，所述投影部背向所述第二部分的一面为弧面，所述弧面能够将光线更好的反射至硅熔体的液面。能够使得所述投影更加清晰，有利于成像单元获取所述投影与所述投影部的图像，有利于获取所述投影与所述投影部之间的距离。相应的，本实用新型还提供了一种单晶硅生长装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 单晶硅 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新昇半导体科技有限公司，未经上海新昇半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202120160695.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
