[实用新型]一种平板式PECVD石墨框

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD石墨框，包括石墨框本体，在所述石墨框本体的凹槽底部的一侧直角边或平行的一组直角边的位置设置为倾斜面，在所述凹槽的顶部，沿着所述石墨框本体的四周边框还设置了一对直角三棱柱挡板，位于两侧的所述三棱柱挡板的斜面朝向凹槽的内侧设置。本实用新型的PECVD石墨框一方面通过在凹槽的底边的一侧边缘将底部的直角加工为倾斜面，从而将硅片向上抬高，改善边缘色差问题；另一方面通过在凹槽的顶部的边框设置三角形挡板，避免传输过程中的硅片的跳片现象，从而降低了导致发生镀膜不良问题的几率。