[实用新型]一种平板式PECVD石墨框

权利要求书

1.一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：包括石墨框本体，在所述石墨框本体的凹槽底部的一侧直角边或平行的一组直角边的位置设置为倾斜面，在所述凹槽的顶部，沿着所述石墨框本体的四周边框还设置了直角三棱柱挡板，所述三棱柱挡板的斜面朝向凹槽的内侧方向设置。

2.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：所述的倾斜面平行于石墨框运行的方向。

3.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：所述倾斜面与所述凹槽底面的夹角为15°-60°，所述倾斜面所对应的高度为所述凹槽深度的0.6-0.8倍。

4.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：所述三棱柱挡板的斜面与所述石墨框本体的边框的夹角为15°-60°，所述三棱柱挡板的高度为2-5mm。

5.根据权利要求3或4所述的一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：所述三棱柱挡板的高度大于或等于所述倾斜面的倾斜高度。

6.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD石墨框，其特征在于：所述三棱柱挡板采用固定的方式设置在所述凹槽顶部的边框上，所述三棱柱挡板的斜面对应于下方的棱边与所述边框位于内侧的边缘线重合。