[实用新型]一种双气化真空镀膜装置

摘要

本实用新型提供了一种双气化真空镀膜装置，包括机架、分解管、分解炉、升华炉以及两个并排设置的升华管；分解炉套设在分解管外且通过安装支架固定安装在机架上；升华管的进料端设有端盖，出料端安装有闸阀；两个升华管的出料端通过一个三通管与分解管的进料端连通；升华炉通过移动组件滑动安装在机架上；利用其中一个升华管镀完一层膜之后，可直接将升华炉移动到另一个升华管外进行二次镀膜，有效提高镀膜效率的同时无需破真空就能完成双层镀膜，避免污染。