[实用新型]一种双气化真空镀膜装置

权利要求书

1.一种双气化真空镀膜装置，其特征在于：包括机架、分解管、分解炉、升华炉以及两个并排设置的升华管；所述分解炉套设在所述分解管外，且通过安装支架固定安装在所述机架上；所述升华管的进料端设有端盖，出料端安装有闸阀；两个升华管的出料端通过一个三通管与所述分解管的进料端连通；所述升华炉通过移动组件滑动安装在所述机架上，且能分别移动到两个升华管外侧对升华管进行加热。

2.根据权利要求1所述的一种双气化真空镀膜装置，其特征在于：所述移动组件包括导杆、第一滑板、导轨以及第二滑板；所述导杆上滑动设置有滑块，导杆的两端通过安装座固定在所述机架上，导杆的长度方向与所述升华管垂直；所述第一滑板的底部与所述滑块固定连接，第一滑板的顶部固定有与所述导轨相匹配的卡块；所述导轨固定在所述第二滑板的底部且与所述卡块滑动配合，导轨的长度方向与所述升华管一致；所述升华炉通过安装支架固定安装在所述第二滑板的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种双气化真空镀膜装置，其特征在于：所述升华炉上设有方便拉动其滑动的把手。