[实用新型]一种用于半导体加工的废气处理设备

摘要

本实用新型涉及半导体环保加工技术领域，具体为一种用于半导体加工的废气处理设备，其方便对过滤板进行及时清洁，保证过滤效果，且清洁时无需停止工作，保证工作进程，同时可对活性炭成分进行均匀使用，提高使用可靠性；包括外壳、输入管、输出管、过滤板和活性炭吸附板，输入管和输出管分别连通安装在外壳左右两端上；还包括分流管、伺服电机、圆板、网盒、四组支撑件、连接框、刷板、支座和两组螺栓，分流管输出端上设置有多组分流支管，过滤板弯折为桶状外观，网盒插入至桶状过滤板内侧，盛放腔内盛装有活性炭颗粒，刷板顶端设置有刷毛，且刷毛与桶状过滤板下侧面接触，伺服电机的前部输出端上设置有传动轴。