[实用新型]一种用于半导体加工的废气处理设备

说明书

本实用新型涉及半导体环保加工技术领域，具体为一种用于半导体加工的废气处理设备，其方便对过滤板进行及时清洁，保证过滤效果，且清洁时无需停止工作，保证工作进程，同时可对活性炭成分进行均匀使用，提高使用可靠性；包括外壳、输入管、输出管、过滤板和活性炭吸附板，输入管和输出管分别连通安装在外壳左右两端上；还包括分流管、伺服电机、圆板、网盒、四组支撑件、连接框、刷板、支座和两组螺栓，分流管输出端上设置有多组分流支管，过滤板弯折为桶状外观，网盒插入至桶状过滤板内侧，盛放腔内盛装有活性炭颗粒，刷板顶端设置有刷毛，且刷毛与桶状过滤板下侧面接触，伺服电机的前部输出端上设置有传动轴。

技术领域

本实用新型涉及半导体环保加工技术领域，具体为一种用于半导体加工的废气处理设备。

背景技术

众所周知，半导体加工过程中需对其产生的废气进行处理，以保证环保效果，其在环保领域得到了广泛的使用；现有的半导体加工用废气处理设备包括外壳、输入管、输出管和过滤板，外壳内部设置有放置腔，外壳前端设置有安装口，并在安装口上设置有挡门，输入管和输出管分别连通安装在外壳左右两端上，过滤板安装在外壳内部，并在过滤板右侧设置有活性炭吸附板；这种半导体加工用废气处理设备使用时通过输入管将废气输入外壳内部，使过滤板对废气中的杂质进行过滤，过滤后的气体再通过活性炭吸附板对其内部的有害物质进行吸附，最后通过输出管将处理后的废气输出即可；这种半导体加工用废气处理设备使用中发现，过滤板长时间使用易发生堵塞现象，影响过滤效果，若要进行清洁，则还需停止工作，然后再将过滤板取出，影响工作进程，且废气在通过活性炭吸附板时，并不是所有活性炭成分均会与废气结构，从而导致活性炭吸附板中的活性炭成分易不能进行均匀使用，使用可靠性有限。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便对过滤板进行及时清洁，保证过滤效果，且清洁时无需停止工作，保证工作进程，同时可对活性炭成分进行均匀使用，提高使用可靠性的用于半导体加工的废气处理设备。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体加工的废气处理设备，包括外壳、输入管、输出管和过滤板，外壳内部设置有放置腔，外壳前端设置有安装口，并在安装口上设置有挡门，输入管和输出管分别连通安装在外壳左右两端上；还包括分流管、伺服电机、圆板、网盒、四组支撑件、连接框、刷板、支座和两组螺栓，所述分流管连通安装在输入管输出端上，并在分流管输出端上设置有多组分流支管，且多组分流支管分别从前到后均匀位于过滤板左侧，所述过滤板弯折为桶状外观，且桶状过滤板外侧壁与外壳内侧壁接触，所述四组支撑件分别固定在外壳内底壁前端左半区域和右半区域以及后侧左半区域和右半区域上，所述网盒插入至桶状过滤板内侧，并在网盒内部设置有盛放腔，所述盛放腔内盛装有活性炭颗粒，网盒前端设置有取放口，并在取放口上设置有挡盖，所述外壳底端设置有输出口，连接框固定在输出口上，所述支座通过两组螺栓固定在外壳下侧面上，支座顶端设置有放置槽，且连接框底端插入至放置盒顶端内部，所述刷板固定在放置盒内部，刷板顶端设置有刷毛，且刷毛与桶状过滤板下侧面接触，所述伺服电机安装在外壳后端，伺服电机外侧设置有减震罩，所述伺服电机的前部输出端上设置有传动轴，圆板前侧面与网盒后侧面接触，所述传动轴前端穿过外壳并与圆板后端连接，所述圆板外侧壁与桶状过滤板内侧壁后端紧密接触。

优选的，所述支座包括放置盒、支撑块、固定框、两组固定板和两组垫片，支撑块固定在放置盒内底壁上，所述固定框固定在支撑块顶端，且固定框内侧壁与刷板外侧壁接触，刷板底端与支撑块顶端接触，所述两组固定板分别固定在放置盒左右两端，两组垫片分别固定在两组固定板上，所述两组螺栓输出端分别穿过两组固定板和两组垫片并螺装在外壳底端内侧，且两组垫片上侧面均与外壳下侧面接触。

优选的，所述减震罩包括罩体、三组减震弹簧组和三组减震板，罩体固定在外壳后端，所述三组减震弹簧组分别固定在罩体内顶壁、内底壁和内后侧壁上，三组减震板分别固定在三组减震弹簧组输出端上，且所述三组减震板分别与伺服电机顶端、底端和后端连接。