[发明专利]一种用于提升MOCVD沉积效率的生产工艺

摘要

本发明公开一种用于提升MOCVD沉积效率的生产工艺，包括第一道工艺：以第一方向作为带材的运动方向进行走带，沿第一方向上依次包括有放卷室、MOCVD沉积工艺室和收卷室；第二道工艺：调整走带方向，以与第一方向相反的第二方向为带材的运动方向进行走带；其中MOCVD沉积工艺室内设有第一挡板、喷淋头、加热弧形板和第二挡板，第一挡板和第二挡板沿第一方向相对且间隔设置在MOCVD沉积工艺室的两侧，第一挡板和第二挡板均位于带材之上，喷淋头和加热弧形板位于第一挡板与第二挡板之间且喷淋头位于加热弧形板之上。采用多道走带方向相反的沉积工艺，可以将生产效率提高至少50%以上。