[发明专利]异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池

摘要

本发明提供了一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池，基于本发明所提供的异质结太阳能电池的制备方法，在制作硅衬底受光面的第一本征钝化膜时，由于氧化非晶硅层外沉积有本征非晶硅保护层，在采用H2进行等离子体处理的过程中，本征非晶硅保护层会被等离子体刻蚀去除，而氧化非晶硅层得到保存，同时氧化非晶硅层中的H含量得到较大提升；如此相对现有技术能够在优化第一本征钝化膜透光性的同时改善第一本征钝化膜钝化效果，进而有效提高异质结电池的光电转换效率。