[发明专利]一种压电元件及其制作方法、传感器组件和电子装置在审
| 申请号： | 202111573852.6 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114447207A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 王海圣;丁忆;姜旭宇;余洋;翁新全;许静玲;柯银鸿;刘瑞林 | 申请（专利权）人： | 厦门乃尔电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/047;H01L41/22;H01L41/257;H01L41/29 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 蔡稷元 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及压电式传感器技术领域，具体涉及一种压电元件及其制作方法、传感器组件和电子装置。该压电元件包括：压电陶瓷，压电陶瓷为环状压电陶瓷，压电陶瓷上极化形成轴向极轴且圆环内外侧镀有电极；以及位于压电陶瓷上的径向极化区和轴向极化区，压电陶瓷上设有开槽，压电陶瓷外圆面上去除有与开槽等宽的电极块一，开槽与去除电极块一将压电陶瓷分隔为径向极化区和轴向极化区。本发明制作的压电元件包含两个极化轴及三个分区电极，通过制作的一片压电陶瓷元件装配形成三轴压电加速度传感器组件，实现三个方向的振动或冲击监测，使得传感器组件具备体积小、噪音小、能扩宽频带，易制造、可靠性高、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 元件 及其 制作方法 传感器 组件 电子 装置 | ||
【主权项】：
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