[发明专利]一种压电元件及其制作方法、传感器组件和电子装置

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，包括：

压电陶瓷，压电陶瓷为环状压电陶瓷，压电陶瓷上极化形成轴向极轴且圆环内外侧镀有电极；以及

位于所述压电陶瓷上的径向极化区和轴向极化区，所述压电陶瓷上设有开槽，所述压电陶瓷外圆面上去除有与所述开槽等宽的电极块一，所述开槽与去除所述电极块一将所述压电陶瓷分隔为径向极化区和轴向极化区；

其中，所述径向极化区的压电陶瓷外圆面中心位置去除电极块二，形成第一径向极化区和第二径向极化区，所述第一径向极化区、第二径向极化区以及轴向极化区相互间隔组成压电元件。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电陶瓷上开槽为贯通截断槽口，所述轴向极化区的电极块一与开槽之间的夹角为α，0°α360°。

3.根据权利要求2所述的压电元件，其特征在于，所述径向极化区中心位置去除的电极块二为沿压电陶瓷外圆面切除的与开槽等宽的电极，径向极化区二等分形成大小相等的第一径向极化区和第二径向极化区。

4.根据权利要求3所述的压电元件，其特征在于，所述第一径向极化区和第二径向极化区的极化方向沿环状压电陶瓷径向分布，第一径向极化区和第二径向极化区的极化方向沿环状压电陶瓷径向自外而内或自内而外分布。

5.一种压电元件的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供环状压电陶瓷；

在环状压电陶瓷端面印银电极并极化，形成轴向极轴；

去除环状压电陶瓷端面的电极后，使用化学镀或溅射在环状压电陶瓷内外侧镀电极，电极全覆盖环状压电陶瓷至短路状态，再将环状压电陶瓷端面电极去除后，环状压电陶瓷内外侧面电极为开路状态；

在环状压电陶瓷侧面切出开槽，并沿环状压电陶瓷外圆面距离开槽α角去除与开槽等宽的电极块一，使环状压电陶瓷形成径向极化区和轴向极化区；

在径向极化区的环状压电陶瓷外圆面中心位置去除电极块二，二等分形成大小相等的第一径向极化区和第二径向极化区；

将环状压电陶瓷进行老化并进行高低温循环处理，得到第一径向极化区、第二径向极化区以及轴向极化区相互间隔组成压电元件。

6.根据权利要求5所述的压电元件的制作方法，其特征在于，环状压电陶瓷在压电陶瓷3/5的居里温度点下老化48-96h，并在-65～-55℃的低温、120～150℃的高温之间进行循环处理，连续进行10～20个循环，得到所需压电元件。

7.一种传感器组件，其特征在于，所述传感器组件包括：

陶瓷元件，陶瓷元件为权利要求1-4任一所述的第一径向极化区、第二径向极化区以及轴向极化区相互间隔组成的压电元件；

底座，用于陶瓷元件安装在底座上；

质量块，位于所述陶瓷元件外侧，用于对陶瓷元件限位；以及

固定件，位于所述质量块外侧，固定件用于将质量块、陶瓷元件固定在底座上。

8.根据权利要求7所述的传感器组件，其特征在于，所述固定件为记忆金属环或夹圈。

9.根据权利要求7所述的传感器组件，其特征在于，所述传感器组件为三轴压电加速度传感器，三轴压电加速度传感器的三个轴之一与所述压电元件的轴向极化区的极轴方向平行，所述三轴压电加速度传感器的另外两轴之一与所述压电元件的第一径向极化区和第二径向极化区之间电极块二的中心线对齐。

10.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括：

权利要求7-9任一所述的传感器组件。