[发明专利]基于频域变换的MEMS声学薄膜表面缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202111564385.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114219797A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 魏冬;张建军;刘博;蒋航;李鑫儒;杜莹莹;赵保磊 | 申请（专利权）人： | 天津光电通信技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/155 |
| 代理公司： | 天津合正知识产权代理有限公司 12229 | 代理人： | 李成运 |
| 地址： | 300211*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于频域变换的MEMS声学薄膜表面缺陷检测方法，通过二维离散傅里叶变换计算MEMS声学薄膜表面缺陷图像的傅里叶频谱图及其频谱梯度图，通过最大类间方差法计算叠加梯度直方图中2个峰值之间的分割阈值Tg，建立布尔掩码并对其进行形态学操作，根据布尔掩码消除频域中由梯度计算识别到的周期性结构对应的主频分量，对剩余频谱采用二维离散傅里叶逆变换以获得包含缺陷区域的重构图像，最后采用阈值法进行二值化分割以输出包含缺陷信息的二值化图像。本发明不仅解决了传统缺陷检测算法依赖成像光源与参考图像的问题，而且具有一定的抗噪性能，且不受图像平移、旋转与缩放等因素的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 变换 mems 声学 薄膜 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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