[发明专利]一种气相外延生长装置有效
| 申请号： | 202111554333.5 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114197037B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王健辉;刘向平;黄业;梁旭;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 俱玉云 |
| 地址： | 523000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气相外延生长装置，包括：第一容器，内部具有第一密闭空间；第二容器，设置在第一密闭空间内，第二容器内设有金属液态源；导体结构，设置在第一密闭空间内，并具有第二密闭空间或者与第一容器的底部形成第二密闭空间；托盘，设置在第二密闭空间内，并用于放置籽晶；气体输运系统，设置在第一容器外，并通过多个进气管将气体输送至托盘处，其中一个进气管连通第二容器。本发明通过导体结构可以将第一密闭空间划分为两个部分，导体结构既作为晶体生长的热源部件，又作为生长区域的密封隔离部件，使得整个气相外延生长装置的结构简化，同时感应加热方式具备可以根据设计温度曲线调控温度的优点，可以实现温度的快速变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 生长 装置 | ||
【主权项】：
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