[发明专利]晶圆自动搬运机

摘要

本发明公开了一种晶圆自动搬运机，包括抓取机构、固定机构和搬运机构，抓取机构能够将位于固定机构上的物料抓取至搬运机构上，所述物料包括盖板、圈架和晶圆，固定机构用于定位圈架和晶圆，固定机构包括底座和升降台，底座上设有能够将圈架固定的抓手；升降台连接于底座，且升降台能够沿圈架的轴向上升或下降，以将位于升降台上的晶圆放置在圈架内；搬运机构包括圆锅和基座，基座内设有一连接件，且连接件能够伸出基座的表面并与圆锅定位连接；且圆锅与连接件通过锁止件固定；还设有第二驱动件，第二驱动件能够驱动圆锅旋转。采用自动化的搬运方式，解决了人工搬运导致的效率低下和容易出现磨损的技术问题。