[发明专利]晶圆自动搬运机

权利要求书

1.一种晶圆自动搬运机，包括抓取机构、固定机构(300)和搬运机构(700)，所述抓取机构能够将位于所述固定机构(300)上的物料抓取至所述搬运机构(700)，所述物料包括盖板(900)、圈架(1000)和晶圆(1100)，其特征在于，

所述固定机构(300)用于定位圈架(1000)和晶圆(1100)，所述固定机构(300)包括底座(301)和升降台(302)，所述底座上设有能够将圈架固定的抓手(303)；所述升降台(302)连接于所述底座，且所述升降台能够沿所述圈架的轴向上升或下降，以将位于升降台上的晶圆放置在所述圈架内；

所述搬运机构包括圆锅(701)和基座(702)，所述基座内设有一连接件，且所述连接件能够伸出所述基座的表面并与所述圆锅(701)定位连接；且所述圆锅与所述连接件通过锁止件(704)固定；

还设有第二驱动件(707)，所述第二驱动件能够驱动所述圆锅旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述抓取机构包括第一抓取组件(200)和第二抓取组件(400)，所述第一抓取组件和第二抓取组件依次将物料抓取至所述固定机构(300)。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述升降台(302)上固定有弧形支撑块(3021)，且所述弧形支撑块的一侧设有一开口，所述开口能够供所述第二抓取组件(400)将所述晶圆(1100)搬运至升降台上。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述圆锅(701)包括曲面板(7011)，所述曲面板的轴线位置固定有将所述曲面板贯穿的固定杆(7012)，所述固定杆与所述连接件相连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述曲面板(7011)的顶部沿着轴线的周向均匀设有多个放置口(7013)，多个所述放置口(7013)用以放置晶圆(1100)。

6.根据权利要求1所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述连接件包括锁紧套(706)和卡接件(705)，所述卡接件的一端与所述锁紧套螺纹连接，所述卡接件的另一端与所述圆锅(701)相连接，并通过所述锁止件(704)进行固定。

7.根据权利要求6所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述锁止件(704)包括直线模块(7041)和固定于所述直线模块上的卡套(7042)，所述卡套套设于所述卡接件(705)的表面，所述直线模块驱动所述卡套竖直向下运动，使得所述卡套对卡接件进行锁止或解锁。

8.根据权利要求1所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述基座(702)的侧壁滑动连接有一支撑组件(703)，所述支撑组件能够沿着所述基座的高度方向竖直上下运动，以对圆锅的边缘进行支撑。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述支撑组件(703)包括支撑台和支撑件(7033)，所述支撑件位于所述支撑台的外侧且位于所述圆锅的下方，以对圆锅的边缘进行支撑。

10.根据权利要求9所述的晶圆自动搬运机，其特征在于，所述支撑件包括连杆(70331)和辊套(70333)，所述辊套套设于所述连杆的表面，并能够沿着所述连杆的轴向转动。