[发明专利]阻尼系统、包括阻尼系统的基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供实时监控气体的压差而在超过所设定的压差范围的情况下自动调节排气量并且在紧急情况下能够进行迅速的手动调节的阻尼系统，和可以实时地自动控制工艺室内的压差并提高工艺环境的稳定性和成品的成品率的基板处理装置和基板处理方法。为此，本发明公开的阻尼系统包括：壳体，具有气体通过的流路；轴部件，可旋转地结合到壳体；调节板，设置在流路上，与轴部件结合而联动并调节流路的开度；压力传感器，测量第一排气压力与第二排气压力之间的压力差；驱动部，使所述轴部件旋转；以及控制部，控制驱动部，以使第一排气压力与第二排气压力之间的压力差与预先设定的基准压力差一致。