[发明专利]动态随机存取存储器及其形成方法

摘要

一种动态随机存取存储器及其形成方法，包括：第一衬底，第一衬底具有第一面和第二面，第一衬底包括若干有源区，各有源区均包括沟道区和字线区；位于字线区内的字线栅结构；位于每个所述字线区内的第一隔离结构；位于每个所述沟道区内的第二隔离结构；位于沟道区第一面内的第一源漏掺杂区；位于第一面上的电容结构；位于沟道区第二面内的第二源漏掺杂区；位于第二面上的位线层；与若干位线、若干导电层以及若干电容结构电连接的若干引线层，引线层自第二面向第一面延伸。通过将电容结构和位线层排布在第一衬底不同面，能够有效降低电路布线以及制造工艺的难度，能够有效减小单个存储结构占用的面积，提升存储器的存储密度，而且降低引线工艺难度。