[发明专利]磁控管装置和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202111417577.9 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114156149A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 任西鹏;李冰;赵康宁 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J25/50 | 分类号： | H01J25/50;H01J23/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 高东 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种磁控管装置和半导体工艺设备，磁控管装置包括旋转座、驱动轴、换位转轴、曲柄、连杆、摇杆、安装座、磁控管、第一限位件和第二限位件，在驱动轴沿第一方向转动，且驱动摇杆限位于第一限位件的情况下，驱动轴驱动旋转座沿第一方向转动，且磁控管与安装座的连接处与驱动轴之间的间距为第一间距；在驱动轴沿第二方向转动，且驱动摇杆限位于第二限位件的情况下，驱动轴驱动旋转座沿第二方向转动，且磁控管与安装座的连接处与驱动轴之间的间距为第二间距，第二间距大于第一间距，且第二方向与第一方向互为反方向。上述技术方案公开的磁控管装置具备切换磁控管位置的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 装置 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111417577.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
