[发明专利]磁控管装置和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种磁控管装置，其特征在于，包括旋转座、驱动轴、换位转轴、曲柄、连杆、摇杆、安装座、磁控管、第一限位件和第二限位件，其中，

所述驱动轴和所述换位转轴均与所述旋转座可转动连接；所述曲柄与所述驱动轴传动连接，所述曲柄通过所述连杆与所述摇杆传动连接，所述摇杆与所述换位转轴传动连接；

所述安装座与所述换位转轴固定连接，所述磁控管固定于所述安装座背离所述旋转座的一侧，且所述磁控管与所述安装座的连接处位于所述换位转轴的轴线之外；

所述第一限位件和所述第二限位件均固定于所述旋转座朝向所述安装座的一侧，在所述换位转轴的周向上，所述摇杆位于所述第一限位件和所述第二限位件之间，且所述驱动轴可驱动所述摇杆在所述第一限位件和所述第二限位件之间运动；

在所述驱动轴沿第一方向转动，且驱动所述摇杆限位于所述第一限位件的情况下，所述驱动轴驱动所述旋转座沿所述第一方向转动，且所述磁控管与所述安装座的连接处与所述驱动轴之间的间距为第一间距；

在所述驱动轴沿第二方向转动，且驱动所述摇杆限位于所述第二限位件的情况下，所述驱动轴驱动所述旋转座沿所述第二方向转动，且所述磁控管与所述安装座的连接处与所述驱动轴之间的间距为第二间距，所述第二间距大于所述第一间距，且所述第二方向与所述第一方向互为反方向。

2.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述驱动轴通过多个第一轴承与所述旋转座可转动连接，多个所述第一轴承沿所述驱动轴的轴向分布，且在所述驱动轴的轴向上，所述驱动轴和所述旋转座均与各所述第一轴承相对固定。

3.根据权利要求2所述的磁控管装置，其特征在于，所述磁控管装置还包括套筒和胀套，所述套筒套设于所述驱动轴，且所述胀套卡持于所述套筒和所述驱动轴之间，以固定所述套筒和所述驱动轴，所述套筒与所述旋转座可转动连接，所述曲柄固定于所述套筒。

4.根据权利要求3所述的磁控管装置，其特征在于，各所述第一轴承均为滚动轴承。

5.根据权利要求4所述的磁控管装置，其特征在于，所述磁控管装置还包括挡圈和端盖，所述套筒的外壁设有沉槽，所述挡圈的一部分伸入所述沉槽，且所述挡圈的另一部分限位于所述第一轴承的内圈的端面，所述端盖贴合于所述第一轴承的外圈的端面，且所述端盖固定于所述旋转座。

6.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述换位转轴通过多个第二轴承与所述旋转座可转动连接，多个所述第二轴承成对设置且沿所述换位转轴的轴向分布，且在所述换位转轴的轴向上，所述换位转轴和所述旋转座均与各所述第二轴承相对固定。

7.根据权利要求6所述的磁控管装置，其特征在于，各所述第二轴承均为滚动轴承。

8.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述磁控管装置还包括第一均重件，所述第一均重件固定于所述安装座，且所述第一均重件位于所述换位转轴背离所述磁控管的一侧。

9.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述磁控管装置还包括第二均重件，所述第二均重件固定于所述旋转座，且所述第二均重件位于所述驱动轴背离所述安装座的一侧。

10.根据权利要求1所述的磁控管装置，其特征在于，所述第一限位件和所述第二限位件中的至少一者朝向所述摇杆的一侧设有弹性缓冲件。

11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括工艺腔室和权利要求1-10任意一项所述的磁控管装置，所述磁控管装置的旋转座固定于所述工艺腔室。