[发明专利]腔室监控系统及化学气相沉积设备

摘要

本发明提供一种腔室监控系统，应用于化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备的反应腔的腔壁设有一探测通道，所述探测通道的顶端开有一连通所述反应腔内部的窗口；所述腔室监控系统包括：透明的石英管，其具有封闭的第一端和开放的第二端，所述第一端伸入所述探测通道，所述石英管的外侧壁与所述反应腔的腔壁之间形成密封；内窥镜，包括一摄像头，所述摄像头由所述第二端伸入所述石英管中并移动至所述窗口处，用于监控所述反应腔的内部。相应的，本发明还提供一种化学气相沉积设备，安装有上述的腔室监控系统。本发明能够反应腔室内部状态的实时监控，同时也能保证反应腔密封性，防止泄漏。