[发明专利]腔室监控系统及化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种腔室监控系统，其特征在于，应用于化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备的反应腔的腔壁设有一探测通道，所述探测通道的顶端开有一连通所述反应腔内部的窗口；

所述腔室监控系统包括：

透明的石英管，其具有封闭的第一端和开放的第二端，所述第一端伸入所述探测通道，所述石英管的外侧壁与所述反应腔的腔壁之间形成密封；

内窥镜，包括一摄像头，所述摄像头由所述第二端伸入所述石英管中并移动至所述窗口处，用于监控所述反应腔的内部。

2.如权利要求1所述的腔室监控系统，其特征在于，所述石英管由高纯度石英制成。

3.如权利要求1所述的腔室监控系统，其特征在于，所述第二端设有法兰盘，所述法兰盘位于所述反应腔的腔壁外部并与所述反应腔的腔壁之间形成密封。

4.如权利要求3所述的腔室监控系统，其特征在于，所述法兰盘与所述反应腔的腔壁之间通过O形密封圈实现密封。

5.如权利要求3所述的腔室监控系统，其特征在于，还包括一锁紧件，所述锁紧件将所述法兰盘与所述反应腔的腔壁锁紧。

6.如权利要求5所述的腔室监控系统，其特征在于，所述锁紧件与所述法兰盘之间设有垫片。

7.如权利要求6所述的腔室监控系统，其特征在于，所述垫片的材质为特氟龙。

8.如权利要求1所述的腔室监控系统，其特征在于，所述探测通道内嵌于所述反应腔的侧壁中。

9.如权利要求8所述的腔室监控系统，其特征在于，所述探测通道的轴线与所述反应腔内部的晶圆平行，所述摄像头的镜头朝向与所述探测通道的轴线平行。

10.如权利要求8所述的腔室监控系统，其特征在于，所述探测通道的轴线与所述反应腔内部的晶圆垂直，所述摄像头的镜头朝向与所述探测通道的轴线垂直。

11.如权利要求1所述的腔室监控系统，其特征在于，所述的内窥镜还包括至少一个照明灯，用于为所述摄像头提供光源。

12.如权利要求1所述的腔室监控系统，其特征在于，所述内窥镜还包括柔性光学管和显示装置，所述柔性光学管连接所述摄像头和所述显示装置，所述摄像头采集的信息经所述柔性光学管传输至所述显示装置进行显示。

13.一种化学气相沉积设备，其特征在于，所述化学气相沉积设备的反应腔的腔壁设有一探测通道，所述探测通道的顶端开有一连通所述反应腔内部的窗口，所述探测通道内安装有权利要求1～12任一项所述的腔室监控系统。