[发明专利]一种硅片上下料系统

摘要

本发明公开了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置，导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置，并控制花篮的内部流转，硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合，搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转，本发明采用传感器对花篮满缺料状态进行检测，实现了对硅片数量的精细控制，本发明采用对射传感器对花篮内硅片余量进行检测，同时采用朝向传感器对花篮朝向进行检测，防止花篮输送时发生反放错误，提高设备的自动化控制程度，本发明实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程，实现了硅片循环往复的上下料过程。