[发明专利]一种光刻胶储存容器及其储存方法在审
| 申请号： | 202111344776.1 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN113968425A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李敏超;马健超;陈昱安;郭善明;陈广进 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B65D88/54 | 分类号： | B65D88/54;B65D88/74;B65D90/00;B65D90/48 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，第二储存容器外壁设置有光电传感器。本申请还提供一种光刻胶储存容器的储存方法。在补液的过程中由于第二储存容器底部与第一储存容器底部组成连通结构的存在，使流入第二储存容器内的光刻胶不存在气泡，因此解决了光刻胶储存容器由于气泡干扰光电传感器发生设备频繁报警的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 储存 容器 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华虹半导体（无锡）有限公司，未经华虹半导体（无锡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111344776.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种推力检测设备
- 下一篇：一种水下机器人用伸缩光纤浮包对接装置
